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| イビデンＧＣコートは､黒鉛基材表面及び内部にガラス状炭素を
被覆・含浸させたことを特徴とするガラス状炭素被覆黒鉛材料です。
通常の黒鉛材と比較して、カーボンダストの発生抑制、耐磨耗性の
向上等多くの利点を有する製品です。 |
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| 1. |
表面被覆だけでなく基材内部にも含浸しているため、基材とのアンカー効果に優れ、繰り返しの加熱によっても剥離・クラックの発生が無く製品の長寿命化を可能にします。 |
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黒鉛よりも硬度の高いガラス状炭素で被覆されているために、耐磨耗性に優れ、カーボンダストの発生が無く製品汚染を減少させます。 |
| 3. |
ガラス状炭素の含浸効果により、内部からのガ
ス放出がなく、また外部からのガス吸着を防止できます。 |
| 4. |
金属不純物が極めて少なく、高純度であるため、半導体プロセス用途にも使用できます。 |
| 5. |
液相コートであるため、各種形状に対応でき、
また内部含浸コートが主であるため製品の寸法
精度を変化させません。 |
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