IBIDEN Graphite IBI-TECHNO
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黒鉛製品表面処理
 
イビデン  パイロリティックコーティング
パイロカーブ
パイロカーブは、等方性黒鉛基材の表面に緻密な炭素質膜を化学蒸着法によって被覆した製品です。従来の等方性黒鉛材料の優れた諸特性をそのまま維持しながら、更に蒸着炭素質膜の持つ高純度性,気密性等の特徴を付加した高機能性の炭素複合材料です。
表面SEM写真 断面SEM写真 断面POM写真
表面SEM写真   断面SEM写真   断面POM写真
パイロカーブの特徴
1. 炭素(C)膜である。
 
耐熱性に優れる。(不活性雰囲気3000℃)
耐熱衝撃性に優れ、赤熱状態(800℃)からの水中投下による急冷でも膜へのクラック・剥離がありません。
耐腐食性に優れ、酸やアルカリに浸漬しても安定です。
2. 高純度炭化水素ガスが原料のため純度が高い。
3. 気体不浸透性である。
 
Si等金属の浸透を防止することが出来ます。
不純物ガスの吸着,放出が少ない。
耐酸化(O2)性や耐珪化(SiO)性に優れる。
4. パーティクル発生が無い。
 
黒鉛粉の脱落を防止することが出来ます。
5. 表面の平滑性が向上します。
 
御使用時の表面蒸着物の付着力が低減します。
6. 従来の黒鉛材に比較して表面反射率が大きい。
 
従来の黒鉛材に比較して約2倍です。
7. 膜の熱伝導率に方向性がある。
 
従来の黒鉛材に比較して膜の厚み方向は1/35〜1/40,面方向は約3倍です。

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