イビデン・CVD-SiCは、黒鉛基材の表面に緻密な炭化珪素膜を化学蒸着法（CVD法）により被覆，またはバルク材として成長させた製品です。低パーティクル，低消耗，耐薬品性に優れた材料として開発を進めておりますので御紹介申し上げます。
表面SEM写真
断面SEM写真
1.
純度が高く、不純物ガスの吸着、放出が少ない。
2.
耐熱性に優れる。
3.
高強度である。
4.
耐熱衝撃性に優れる。
5.
耐酸化・耐薬品性に優れる。
6.
厚膜化が可能である。
7.
大型部材への対応が可能である。
